| 显微镜，自动聚焦装置和自动聚焦方法。 |
| JP2006184210 2006-7-4 发明申请 |
| 2008-1-24 |
| 要解决的问题 : 以准确地执行高速处理用于自动聚焦与简单的结构。溶液 : 所述的自动聚焦装置1C被提供，包括 : 一检测装置2C具有一激光二极管13和一个反射的光检测器18检测从所述激光二极管发射的光其是13，和所述表面上反射和所述一种微量滴定板12的边界表面和从那里返回通过物镜2; 一种焦平面移动装置33调整所述焦平面的相对位置的所述物镜透镜2以一个待检查的对象在一个光学轴方向; 一控制装置19determinding所述物镜的焦平面2是否是与该表面对齐或所述基于所述微量滴定板的边界表面12上的输出从所述光电检测器18和控制所述焦平面移动装置33基于所确定的结果; 和一增益调整装置切换所输入的增益和\/或所述检测装置所输出的增益2C之间的当该微量滴定板12和检测所述的表面当其检测所述边界表面。版权 : (C)2008，inpit |
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