| 激光扫描型显微镜 |
| JP2007255818 2007-9-28 发明申请 |
| 2008-1-24 |
| 要解决的问题 : 以提供一激光扫描型显微镜能够实现所述的所述的寿命的延长一激光束源。溶液 : 所述激光扫描型显微镜，使激光束从所述激光束源1a到1c入射在一个电磁镜4a1b通过一入射快门41a，从而以两维扫描样品5与所述激光束通过该电磁镜41b，和还获得一个根据所接收的光的强度中的扫描图像从该样品5。所述打开\/关闭所述入射快门41a被检测的状态通过一个状态检测部63a。当所述开口状态的所述入射快门41a被检测到，它被判断为所述的观测周期该扫描图像，从而执行普通的控制。当所述关闭状态的所述入射快门41a被检测到，它被判断为所述非观测周期的该扫描图像，从而执行备用控制。因此，输出光的量从所述激光束源1a到1c是通过控制激光功率调整源2a到2c从这种判断的结果。版权 : (C)2008，inpit |
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