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使用MEMS致动器确定扫描探针显微镜悬臂的弹簧常数的位移方法

US11458012 2006-7-17 发明申请

2008-1-17

根据本发明，可以使用移动方法原位确定机械耦合到MEMS致动器的扫描探针显微镜悬臂的弹簧常数。