| 原子力显微镜悬臂及其制造方法 |
| US11614492 2006-12-21 发明申请 |
| 2008-1-17 |
| 本发明涉及通过使用光刻工艺和蚀刻工艺形成的各种类型的原子力显微镜(AFM)悬臂及其制造方法， AFM悬臂包括由半导体衬底制成的处理单元， 悬臂单元，该悬臂单元以杆的形式延伸形成在所述搬运单元的底表面上， 探针单元通过在悬臂单元的一个侧面上延伸形成为竖直突出的峰的形状，并且探针通过在探针单元的峰上形成而与待分析对象的表面接触。 因此，本发明的优点在于，通过一般的光刻工艺可以容易地形成几百纳米的探针，并且通过容易地设置悬臂构件的厚度，可以容易地获得所设计的悬臂的自然谐振频率。 |
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