产业集群信息网

产业专利数据

使用MEMS致动器确定扫描探针显微镜悬臂的弹簧常数的谐振方法

US11458000 2006-7-17 发明申请

2008-1-17

根据本发明，可以使用频率谐振方法原位确定机械耦合到微机电系统(MEMS)致动器的扫描探针显微镜悬臂的弹簧常数。