| 透射电子显微镜 |
| US11741370 2007-4-27 发明申请 |
| 2008-1-17 |
| 在透射电子显微镜中，使截面在参考样品上锥形收缩的电子束通量撞击参考样品。 所述通量包括以入射角撞击所述样品的电子束，所述入射角在照射方向上呈圆锥形扩展。 光束在与中心的距离根据入射角不同的位置聚焦到荧光屏上。 得到光束通量的透射图像。 对设置在透射图像上的每个检查区域执行傅立叶变换。 像差系数C1，C2。 。。。，通过图像处理从所获得的傅立叶变换图像计算Ci。 校正成像透镜中的像差。 因此，可以通过找到像差系数C1，C2来校正像差。 。。。，仅来自一个传输图像的CI。 减少了传输图像的数量或减少了采集时间。 |
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