| 精细调节元件和扫描探针显微镜 |
| JP2006173864 2006-6-23 发明申请 |
| 2008-1-10 |
| 要解决的问题 : 以提供一个精细调整元件具有一种此外-提高谐振频率，和一个扫描探针显微镜配备与所述精细调节元件，能够扫描在所述高频率的区域，和具有改进的吞吐量。溶液 : 在该精细调整元件1，一个自由端1b可以被移动到一固定端1a，通过施加一电压在每个所述的Z-轴方向延伸的从所述固定端1a固定到一规定的固定位置到所述自由端1b和所述X-轴和Y-轴，其被两个轴，构成一个平面大约正交于所述Z-轴。X-压电元件2所述X-轴方向中的可变形; 一个Y-压电元件3排列在所述Z-轴方向以所述X-在所述Y-轴方向压电元件和可变形; 和一Z-压电元件4排列在所述自由端侧上的Z-轴方向以所述X-压电元件和该Y-中的压电元件和可变形的Z-轴方向被构成一体。所述元件1被形成从所述X-压电元件，该Y-压电元件和所述Z-压电元件，使得截面区域，其是基本上正交于所述Z-轴变得较小，在所述自由端1b上比所述固定端部1a。版权 : (C)2008，inpit |
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