| 扫描探针显微镜 |
| JP2006175196 2006-6-26 发明申请 |
| 2008-1-10 |
| 要解决的问题 : 以廉价地形成一探针的标记示出该位置到一悬臂与高精度，而不laboring，和以所述前端的位置准确地对准所述探针与所述目标的测量开始位置。一个样品的使用所述标记。溶液 : 该扫描探针显微镜是配备有 : 所述悬臂2b具有一探头2a; 所述标记M的至少任一个上形成一个第一点(P1)，其中一个第一延伸的线L1，其延伸在所述悬臂的纵向方向从所述根所述探头的位置穿过所述引导所述悬臂的端表面或一个第二点P2，其中一个第二延伸的线L2，它延伸在所述所述悬臂的短方向，从所述根所述探头的位置，穿过所述悬臂的所述侧表面; 一个光学观察装置，用于以光学方式观察该悬臂和一个样品; 一监视器用于显示所观察的图像; 和一个控制部分用于显示所述测量开始位置，所述的基础上选择所观察的图像在所述监视器作为一参考线和对准所述悬臂以允许所述参考线一致与该标记。版权 : (C)2008，inpit |
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