| 显微镜及其干涉仪 |
| US11613113 2006-12-19 发明申请 |
| 2008-1-10 |
| 一种干涉仪，包括光源单元，第一分光器，参考光束单元和检测单元。 光源单元提供激光束。 所述第一分光器接收来自所述光源单元的激光束，并将所述激光束分成第一光束和第二光束。 参考光束单元包括移频器，光阑和球面镜。 所述移频器的中心位于球面镜的曲率中心， 所述第一光束从所述第一分光器行进到所述移频器， 所述移频器将所述第一光束分成衍射光束和零阶光束， 其中衍射光束行进到球面镜，被球面镜反射向移频器，通过移频器成为参考光束，零阶光束被阻挡器阻挡。 所述检测单元从所述参考光束单元接收所述参考光束。 |
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