| 一种电子光学镜筒及扫描电镜 |
| CN202311211639.X 2023-9-19 发明申请 |
| 2023-12-22 |
| 本发明公开了一种电子光学镜筒及扫描电镜，其中电子光学镜筒包括筒体，筒体的内壁凸设有第一支撑环，第一支撑环沿轴向的相对上端面滑动设置有阳极法兰，阳极法兰的中部沿轴向贯穿形成有用于供电子束穿过的穿孔；阳极法兰的上端面固定连接有用于产生电子束的电子枪；筒体上对应阳极法兰的位置设置有第一调节锁紧组件，第一调节锁紧组件具有带动阳极法兰沿筒体的径向移动的调节状态，以及具有限定阳极法兰位置的锁紧状态；筒体内位于第一支撑环沿轴向的相对下方设有用于将电子枪发出的电子束进行聚焦的聚光镜。本发明可以调节电子枪在垂直于轴向的水平面的位置直至所需的要求的位置，从而使得电子光学镜筒达到较好的合轴状态。 |
微信公众号