激光扫描显微镜
 
WOJP07000657  2007-6-20  发明申请

2008-1-10
 
  本发明提供一种具有改进的激光扫描显微镜的自由度,用于观察度,同时保持所述配置简单。一激光扫描显微镜(100)被提供有一光源部(1); 一个分光装置(9),其从所述光源的光引导部分(1)到一个表面(16)待观察和引导所述的光从所述表面(16)到一个检测器; 光学路径切换装置(10,13)所述光谱装置之间用于切换一光学路径(9)和所述表面(16)到和从多个光路径的(R1,R2)具有不同的路径; 和多个的光偏转装置(11,12)设置在所述光学路径,分别。
 
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