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扫描探针显微镜
US11879878 2007-7-19 发明申请
2007-12-20
一种扫描探针显微镜,其具有悬臂,该悬臂被安装成在样品的表面上经历振荡运动。 悬臂在其远端具有探针。 Z轴控制量计算机构计算用于使悬臂的摆动量保持恒定的控制量。 Z轴驱动机构根据来自Z轴控制量计算机构的控制量在Z方向上驱动悬臂或样品。 驱动范围限制装置限制Z轴驱动机构的驱动范围。 驱动范围设定装置可选择地设定Z轴驱动机构的驱动范围。
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