| 光学测量物体的扫描显微镜 |
| US11762160 2007-6-13 发明申请 |
| 2007-12-20 |
| 一种用于光学测量物体的扫描显微镜， 包括透镜， 光源， 位移单元， 以及扫描器控制单元， 所述扫描显微镜被实施为使得由光源发射的测量光束撞击待测对象，并且由所述对象反射的测量光束作为反射光束通过所述透镜重新进入所述显微镜的辐射路径和所述扫描器控制 单元与位移单元协作，使得扫描器控制单元通过控制信号来控制位移单元，使得可以改变待测物体和测量光束的相对位置，使得测量光束能够至少被引导到预定位置。 两个预定的， 在物体上局部不同的测量点。重要的是扫描显微镜还包括信号检测器， 信号存储单元， 以及激励单元， 所述激励单元被实施为周期性地激励待测物体， 信号检测器设置在扫描显微镜的辐射路径中， 反射光束在信号检测器上可视化， 以及信号存储单元，连接到信号检测器并被实施为存储信号检测器的信号的测量序列， 扫描器控制单元连接到激励单元和信号存储单元，并与这些单元协作以控制激励单元和信号存储单元，使得对于物体上的每个测量点，至少一个测量序列的测量 信号检测器的信号被保存。 |
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