| 透射电子显微镜，和其控制方法。 |
| JP2006065806 2006-3-10 发明申请 |
| 2007-9-20 |
| 要解决的问题 : 以提供一透射电子显微镜，其电执行一倾斜调整不可能用于人或一种样品的倾斜机构来控制，并达到一个精确的倾斜调整。溶液 : 一电子束e产生和加速由电子枪1连接到一个高电压功率源被聚焦的聚焦透镜3聚光透镜的形成，通过偏转的两个阶段倾斜线圈的一偏转部4，和施加到样品上设置一样品5a表一样品室5中。所述电子束具有穿过该样品5a放置和保持所述样品上设置台进入一个物镜透镜6。一个像差校正器7在所述物镜透镜6引起的像差校正。版权 : (C)2007，inpit |
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