| 扫描电子显微镜 |
| JP2007029942 2007-2-9 发明申请 |
| 2007-9-20 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜具有良好的聚焦响应，在一个使用一个电磁物镜透镜。溶液 : 该扫描电子显微镜是提供具有一扫描装置扫描的电子束在样品，检测装置在产生从所述样品中的至少一个二次电子检测或反射电子，一显示装置显示样品图像基于检测到的信号上产生由所述检测装置，电磁物镜透镜给出所述电子束的聚焦作用到被聚焦在所述样品，或者磁路径所述物镜的透镜或电极设置在所述磁路径和电绝缘，一电压控制装置，所述电极上施加电压。它是这样构成，其所述电极被设置以产生至少任所述次级电子加速从所述样品或所述的反射电子，使得所述电子束的能量通过所述物镜的透镜是提高由该电压施加的电压控制装置，和在所述相同的时间，所述电子束的聚焦位置通过该物镜是通过改变所述电压控制装置。版权 : (C)2007，inpit |
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