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高速扫描探针显微镜组件的主动阻尼

US11678018 2007-2-22 发明申请

2007-9-20

本发明公开了一种用于主动阻尼扫描探针显微镜中的内部振动的技术。 SPM的机械组件中各种机械运动的激励，包括共振，会对SPM的性能产生不利影响，尤其是对于高速应用。使用致动器来补偿所述运动。所述致动器可以仅在Z方向上操作，或者可以在其它方向上操作。所述致动器可以位于波腹的位置。