| 扫描电子显微镜装备有单色器 |
| JP2006000764 2006-1-5 发明申请 |
| 2007-7-19 |
| 要解决的问题 : 以自动执行一种电子束进入单色仪的调整和调整的一个所述单色仪的操作条件，在扫描电子显微镜设置与所述单色仪。溶液 : 该扫描电子显微镜设置与所述单色器被设置，一个电子源和所述单色器之间，与一第一，用于调整电子束的聚焦的聚焦透镜进入所述单色器，和第一的像散校正透镜用于校正所述电子束的象散进入单色仪，和还设有一装置，用于获取一一种电子束的调整样品图像中的一个位置处设置用于聚焦该电子束所述单色仪和用于驱动第一的聚焦透镜和第一的像散校正透镜，以调整该聚焦和象散所述电子束进入单色仪基于所获取的图像。版权 : (C)2007，inpit |
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