| 显微镜检查装置 |
| EP07000081 2007-1-3 发明申请 |
| 2007-7-18 |
| 本发明提供了一种显微镜检查装置包括一光源; 一种照明光学系统被配置到导光从所述光源到一个样品; 一物镜透镜配置到准直从所述样品的返回光，所述物镜的透镜被设置在这样的一个作为以可移动的方式至少在一个方向交叉的一个所述物镜的光学轴; 一种图像形成透镜配置到图像所返回的光从所述样品，其通过所述物镜透镜是准直; 一个光学检测器被配置以检测所述图像形成所述返回光通过成像透镜; 一种显微镜主体包括所述图像形成透镜和所述光检测器; 和一物镜透镜驱动机构被配置为驱动所述物镜在一个方向校正图像模糊由于该样品的位移。 |
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