| 用于扫描电镜的高度校准装置 |
| CN202321586495.1 2023-6-20 实用新型 |
| 2023-12-22 |
| 本实用新型公开了一种用于扫描电镜的高度校准装置，包括：第一安装座、第一高度调节组件、第二高度调节组件和样品台，第一安装座设于扫描电镜的安装平台，第一高度调节组件设于第一安装座，且沿高度校准装置的第一方向，第一高度调节组件相对第一安装座可移动，第二高度调节组件设于第一高度调节组件和样品台之间，且第二高度调节组件适于驱动样品台沿第一方向移动，通过第一高度调节组件和第二高度调节组件沿第一方向调节样品台的高度，以校准样品台与扫描电镜的电子枪之间距离。由此，通过调节样品台的高度可以测量样品台与电子枪之间的距离，从而实现了样品台与电子枪之间距离的精确校准，且校准方法简单便捷。 |
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