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扫描显微镜和显微镜的扫描方法。
EP06121130 2006-9-22 发明申请
2007-4-11
一扫描显微镜包括一个脉冲光束(3),一个扫描单元(7),以引导该光束通过所述显微镜光学器件(13)上或通过一个对象(15)和一个检测器(19)的光从所述对象产生一个检测信号。该光束射向一个去耦元件(60)中的至少一个所述的光束投射到检测器(61)的部分检测所述光源和提供所述扫描仪所述脉冲的脉冲信号。一个独立如权利要求是上方的显微镜还包括用于操作所述的一种方法。
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