| 一种原子力显微镜的扫描探头 |
| CN200510086211.2 2005-8-8 发明申请 |
| 2007-2-14 |
| 一种原子力显微镜的扫描探头，包括激光器1， 反射镜2，反射镜3，四象限光电位置检测器4，微悬臂5，放 大镜组件和CCD10，放大镜组件包括放大镜片和调焦镜筒8； 放大镜片包括物镜7和目镜9，放大镜组件安装在带有针尖的 微悬臂5正上方，调焦镜筒8固定在扫描探头壳体11的顶部， 可调节伸缩，调焦镜筒8的下部和上部通过螺纹口分别连接物 镜7和目镜9；目镜9上有C型接口与CCD10相连，CCD10 的输出端从扫描探头外部接到电视机盒上，电视机盒再接到电 脑上。在电脑监视器上开设观察窗口显示放大了的微悬臂及激 光光点。本发明克服了完全依靠肉眼观察微小的激光光点和微 悬臂的困难，和外置的体视放大镜相比，可避免移动镜头寻找 微小目标的麻烦。 |
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