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用于确定扫描电子显微镜的电子束的定位误差的方法和系统

US11138673 2005-5-27 发明申请

2006-11-30

提供了一种在表面上的相应标称位置处具有至少四个参考图案的衬底。使用扫描电子显微镜并将晶片台定位在每个参考图案的相应标称位置，扫描每个参考图案。在确定每个图案的至少第一和第二强度分布之后，计算偏离每个标称位置的参考位置。参考位置偏移用于确定扫描电子显微镜的定位误差。