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扫描透射扫描透射电镜勺
NL1029129 2005-5-25 发明授权
2006-11-28
本发明涉及一种扫描透射电子显微镜,包括电子源, 电子加速器和偏转装置,用于将由电子源发射的电子导向待测物体; 以及用于检测来自物体的电子的检测器, 与探测器相连, 一种用于处理所检测的电子以形成物体图像的装置, 其中提供了一个分束器,用于将来自电子源的电子束分成要射向被检查物体的小光束,并且其中检测器被设计用于检测对应于所述小光束的独立电子图案。
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