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使用估计器在扫描探针显微镜中进行纳米位置感测的系统

US11428176 2006-6-30 发明申请

2008-1-3

根据本发明，在扫描探针显微镜的控制器部分中使用估计器，以提供由微机电系统(MEMS)致动器在垂直方向上控制的探针尖端的精确位置估计。精确的位置估计通常增强扫描探针显微镜跟踪表面的能力，并且通常提供表面形貌的改进的测量。