| 扫描探针显微镜和检查方法。 |
| JP2006162745 2006-6-12 发明申请 |
| 2007-12-27 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够鉴别反射的光从每个的多个悬臂的。溶液 : 所述扫描探针显微镜是配备有一光源5用于发射照射光; 一种样品第一的悬臂10，其中扫描该表面50a，同时一个第一处的振动频率和反射所照射的光作为第一反射的光; 一第二悬臂20，其中所述样品的扫描该表面50b，同时一个第二处的振动频率不同从第一频率和反射所照射的光作为第二反射的光; 一个光电传感器6用于第一和第二的反射光进行光电转换成电气信号; 一第一相位检测器35用于提取一第一测量信号第一频率处振动从所述的电信号; 和一第二相位检测器45用于提取一第二测量信号由第二的振动频率从所述电气信号。版权 : (C)2008，inpit |
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