| 透射电镜用相位板及电镜图像的数据处理方法 |
| JP2022104071 2022-6-10 发明申请 |
| 2023-12-21 |
| 要解决的问题:提供一种新的相位板方法,其在灵敏度方面超过所有传统的相位衬度方法,以便通过解决这样的问题来推进相位板方法的有效使用,即,在所述问题中,由于样品被电子束辐照破坏,不能对诸如生物材料和聚合物材料的靶应用高电子束辐照,导致低灵敏度和低分辨率的问题,并且相位板方法的缺点是当电子束穿过相位板时的电子束损失, 其削弱了恢复的相位对比度.解决方案:相位板14的相位提供了在(1/2)π附近的最大灵敏度。 φ-Hilbert相位板(φ<π)给出了对应于Zernike相衬图像的正常图像和对应于Hilbert差分型图像的差分图像的混合图像,但是进行21和22处设定光轴的左右两个Hilbert相位板方法,通过将获取的两个图像的和差图像组合,得到超越所有常规相衬方法的高灵敏度的相衬方法(左右φ-Hilbert相位板积分方法)。 用电子显微镜模拟器验证理论结果,选图:图6版权:(C)2024, JPO&INPIT |