| 扫描探针显微镜中的驱动级，和所述扫描探针显微镜 |
| JP2007038885 2007-2-20 发明申请 |
| 2007-12-27 |
| 要解决的问题 : 一个扫描探针显微镜中，以提供一个驱动级，用于减少产生振动，而不被通过改变在所述的质量实现一个可移动部分和一驱动元件在所述的特性变化，以及以提供所述扫描探针显微镜。溶液 : 该驱动阶段是提供具有一支撑101; 至少两个或多个可动部分102，103固定到所述支撑; 两个或多个驱动元件106，107，用于驱动多个所述可动的部分; 一惯性的力的差值检测装置190用于检测所述多个所述的惯性之间的力中的差异可动部分; 和一个惯性的力调节装置192用于调整，以减少所述的差所述的惯性的力多个所述可动部的之间，基于从一个加速度传感器的检测输出。该驱动级被设置在所述扫描探针显微镜和在所述用于相互抵消的方向驱动所述在多个所述可动部的惯性的力，当所述驱动元件被驱动。版权 : (C)2008，inpit |
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