| 模板匹配的方法和扫描电子显微镜 |
| JP2006166803 2006-6-16 发明申请 |
| 2007-12-27 |
| 要解决的问题 : 以提供一种防止错误的确定是通过其模板匹配方法，即使当一个接地图案出现在提取图案匹配使用一设计图案与一模板从所述的图像作为该模板; 和，以提供一种扫描电子显微镜。溶液 : 该扫描电子显微镜用于成像的样品通过使用一种二次电子的照射产生的所述信息该样品与电子射线包括 : 一用于提取边缘从所述设计数据存储部的所述图案以被加工成所述样品和注册所述边缘为所述模板; 和一个运算部，用于提取所述图案的所述图像的边缘，比较所述边缘与所述所设计的边缘所述图案数据和确定所述的匹配度的图像和所述设计数据。版权 : (C)2008，inpit |
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