产业专利数据
 
扫描电子显微镜
 
JP2006163060  2006-6-13  发明申请
2007-12-27
 
  要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜，其不需要预热。溶液 : 在所述扫描电子显微镜，激励电流被供给从一控制系统以一物镜透镜在一个观察模式。在所述待机模式，该控制系统的电源被切断和所述励磁电流供给以所述物镜从一个不同的电源从所述控制系统。版权 : (C)2008，inpit
 
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