| 设备和方法用于测量温度，和电子显微镜 |
| JP2006157134 2006-6-6 发明申请 |
| 2007-12-20 |
| 要解决的问题 : 以提供一温度测量装置，一温度测量方法，一种电子显微镜能够准确地测量所述微区域的温度。溶液 : 次级电子和热的电子，从样品表面发射由所发射的电子从电子之间的碰撞枪10和样品1，被转换成光子通过一个闪烁体20。该光子的数量是通过增加一个光电倍增管30和被转换成电气信号。所述的电输出信号从所述的光电倍增管30通过一电气信号被放大的放大器40，和一个该样品1的温度变换器50计算该温度，所述的基础上的两个所述的电气信号放大，通过所述的电气信号放大器40和一校准曲线。版权 : (C)2008，inpit |
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