| 扫描电子显微镜和电子束轴调整方法及其 |
| JP2006159741 2006-6-8 发明申请 |
| 2007-12-20 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜，其可以通过分配与廉价地制造一种自动调整枪对准器机构和一控制电路，和便于人工电子束调整。溶液 : 一个加速电压和一个用于一个灯丝加热电流被降低到低于一指定值。这种扩展所述电子束的曝光区域的标题，用于一阳极，以保证所述的电子束通过通过阳极孔。然后，重定向的调整是进行所述电子束在所述的轴向方向以增加所述的亮度所述电子束具有穿过阳极孔。当所述的亮部分所述电子束到达所述阳极孔，所述加速电压和加热电流用于该灯丝被增加以使它们更接近到指定的值以窄的所述曝光区域的所述的电子光束。在这种方式，所述的增加和降低所述加速电压和用于所述灯丝加热电流和所述重定向调整在所述电子束的所述轴向方向上被重复，以调整所述电子束中的一个移位在所述轴向方向。版权 : (C)2008，inpit |
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