| 探针结构和扫描探针显微镜 |
| JP2006155995 2006-6-5 发明申请 |
| 2007-12-13 |
| 要解决的问题 : 提供一种用于控制所述的方法工作的探针，以防止所述探针从一个样品的碰撞与所述突起部，同时观察该样品，在悬臂阵列提供与一个片用于观测和多个工作探针的探针的。溶液 : (1)所述在所述距离差和所述观测探针和工作探针之间的高度被测量，在预先。(2)所述工作探针扫描路径，以扫描中被确定为尽可能紧密地与所述该观察探针的轨迹。(3)所述工作探针被设置在探头仰角量，通过所述突出的位置之前的所述样品，和测量，同时该探针被提起的工作。版权 : (C)2008，inpit |
微信公众号