| 显微镜 |
| JP2006150443 2006-5-30 发明申请 |
| 2007-12-13 |
| 要解决的问题 : 以提供一显微镜在其表面条件的判断可以进行稳定的聚焦,而不管一测试对象的。溶液 : 所述显微镜包括一个观察点的光学系统10由一物镜透镜11的,一个成像透镜12和一个目镜13,一个索引图像的投影部30突出的两个索引图像和一个半透半反镜26连接一该索引的光学路径图像投影部30与一观察点的光学系统10的光学路径。该索引图像的投影部分30包括一光源21,一孔22,一个索引23,一种分体式棱镜24,一种成像透镜25和一旋转机构31。所述索引23具有一个线性图案和所述测试对象是设置在一个共轭的位置S。该旋转机构31支持所述分离棱镜24和所述索引23,从而以可旋转绕光学轴线。该索引图像的投影部30一起与该半透半反镜26和所述物镜透镜11构成一个索引投影光学系统,其中所述测试对象上突出的两个索引图像S从不同方向通过所述物镜透镜11。该索引图像投影到所述测试对象S是通过观察点观察光学系统10。版权 : (C)2008,inpit |