| 在氧自由基源中使用UV激发的电子显微镜的氧化清洗方法和装置 |
| US11449475 2006-6-8 发明申请 |
| 2007-12-13 |
| 本发明提供了一种用于清洁电子显微镜的样品和内部样品室以及类似电子束仪器的改进方法和装置。 所述装置由置于样品室端口或真空下置于样品室内的紫外光源氧自由基发生器组成。 在低于1托的压力下使空气或其它氧和氮混合物进入发生器。 所述UV源辐射低于190nm的UV波长，所述UV波长用于离解氧以产生氧自由基。 然后，氧自由基通过对流在整个室中分散，以通过氧化成挥发性氧化物气体从室，台架和样品的表面清除烃。 特别是，本发明提供了一种新的方法和装置，用于在这些仪器的真空系统中，通过使样品室，样品台和样品通过具有可产生氧自由基的波长的紫外光源，用由空气或其它含氧气体通过光解离产生的氧自由基来清洁样品室，样品台和样品。 所述氧自由基用于氧化所述烃并将其转化为易于泵送的气体。 所述方法和装置可以被添加到分析仪器和其它真空室中，而不改变其分析目的或设计。 |
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