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一种光学显微镜用标记工具及其使用方法

CN200610027450.5 2006-6-8 发明申请

2007-12-12

本发明提供了一种用于光学显微镜下的标记工具，包括滑动导轨、一对导向杆、油印头及卡套，实现了快速、准确、方便地标记，避免了晶圆代工厂中对晶圆进行标记是人工操作的所带来的诸多问题。