| 显微镜 |
| JP2006147314 2006-5-26 发明申请 |
| 2007-12-6 |
| 要解决的问题 : 以一种高亮度部分的一个光检测的运动源和以校正所述该高亮度部分的位置所述的基础上所检测的结果。溶液 : 在一种UV射线显微镜100，一种二次会聚发射光的光源SS被形成从所述光源11，和一种样品1是与从所述二次光源的光照射SS通过所述物镜透镜3，其中一种入射光瞳3a是提供在所述二次光源SS所述共轭的位置。显微镜100是具有 : 一个二向色镜13，其分支和发射光之间的光束的一部分从该光源射出的光束11作为非照明光; 一光源图像检测部7会聚该非照明光并形成所述的光源图像所述一个基本上共轭检测表面上的光源11所述二次光源的SS，和其检测所述光源图像和输出图像强度信息; 和一个光源保持机构27，其保持所述光源11，从而以可移动在所述的光学轴方向的横截面。版权 : (C)2008，inpit |
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