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用于电子显微镜的任意电子剂量波形

US18201536 2023-5-24 发明申请

2023-12-21

一种装置可以包括电子源、检测器和偏转器。电子源可以指向样品区域。检测器可以接收电子信号或电子诱导信号。偏转器可以定位在电子源和样品之间。偏转器可以根据具有连续可变时间分布的电子剂量波形来调制指向样品区域的电子源的强度。