| 使用所述相同的扫描探针显微镜和扫描的方法 |
| KR1020060050028 2006-6-2 发明申请 |
| 2007-12-6 |
| 目的 : 一种使用所述相同的扫描探针显微镜和扫描方法被提供以防止图像的失真由于一个扫描器的对准误差。结构 : 一个探针(100)的一个位置是由第一线性地改变扫描器(310); 和一个样品(200)的位置是由第二线性地改变扫描器(320)。一种调整单元(400)。调整一第一扫描器或第二扫描器的位置，使得通过位置的变化形成一平面该样品是垂直于所述探针的通过位置形成一个直线变化。该调整单元获取一个该样品沿着一个直线第一的形状所述平面中，获得第二所述样品的形状沿所述的直线，和调整所述第一或第二扫描器的位置根据第一之间的差值或第二的形状和平均第一和第二形状的形状，kipo2008 |
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