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最小尖端损伤的原子力显微镜技术

US11421396 2006-5-31 发明申请

2007-12-6

提供了用于自动确定用于操作原子力显微镜(AFM)的反馈设定点的方法和装置。可以通过在监测检测器信号中的变化的同时调制反馈设定点来确定该设定点。为了避免尖端损坏并在使用过程中保持非接触，吸引人的模式，可以使用刚好在对应于检测器信号的参数的检测到的变化(例如相位突变)的设定点上方的设定点来操作AFM。