| 使用原子力显微镜微制造装置的加工方法 |
| US11809518 2007-6-1 发明申请 |
| 2007-12-6 |
| 在通过关闭具有探针的原子力显微镜悬臂的Z压电致动器的反馈控制系统而将高度固定在目标高度的情况下， 它比加工材料更硬， 当进行机械加工时，悬臂的挠曲和扭转，同时选择性地仅在加工区域上重复扫描(在检测到挠曲的情况下， 与悬臂平行，在检测扭转的情况下， 与悬臂垂直)由象限光电二极管位置感测检测器监测，并且重复该处理直到挠曲量或扭转量，即，直到悬臂的弹性变形量变得不大于确定的阈值。 在获得用于检测终点的高度信息时不需要进行观察的扫描，因此可以提高处理的吞吐量。 |
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