| 扫描探针显微镜压电扫描管的X－Y二维平面扫描驱动系统 |
| CN200710057522.5 2007-6-1 发明申请 |
| 2007-12-5 |
| 本发明涉及扫描探针显微镜压电扫描管的X－Y二维平面扫描驱动系统，该系统包括驱动扫描探针显微镜快轴方向的驱动信号(可选择的锯齿波驱动信号和正弦波驱动信号)、驱动慢轴的阶梯波信号，其中快轴和慢轴的驱动信号可以实现输出通道交换，即在实际驱动扫描管时交换快轴和慢轴。该系统还可以实现在最大扫描范围内的X－Y二维平面内任意定位扫面中心，并对选定区域进行扫描。本发明提供的扫描探针显微镜压电扫描管驱动系统用于研究扫描探针显微镜快速扫描的方法，也可作为扫描探针显微镜快速扫描系统的平面扫描驱动模块。该系统具有扫描速度快、适用性强等特点。 |
微信公众号