扫描探针显微镜
 
JP2007063377  2007-3-13  发明申请

2007-11-29
 
  

要解决的问题 : 以具有高精度确实地检测样品特性在所必要的最小测量时间,当测量所述多个样品的特性通过一扫描系统,其中从一个样品探针是接近\/后退在一个扫描探针显微镜,和以解决该问题,其中由于所述工作力所述探针之间的工作和所述样品是通过改变所述探针的种类或所述探针尖端的磨损状态,获得的特性值,通过一个不同的探针不能进行比较,只要所述测量探针的影响是不除去。

溶液 : 该扫描探针显微镜中,所述探针与所述样品是间歇地接触,而所述探针被重复地接近到\/从所述样品与后退一个可变振幅由一驱动装置,从而获得该样品特性在一高的速度。一个或多个点的焦点曲线被获取,通过使用一个固定的环境下,用于校准样品(与所述温度和湿度保持恒定),和所述测量值被校正,通过使用获取的信息从所述聚焦曲线,该样品和所述的分布特性被显示。

版权 : (C)2008,inpit

 
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