| 共焦显微镜 |
| JP2006140030 2006-5-19 发明申请 |
| 2007-11-29 |
| 要解决的问题 : 以容易地构成一个共焦显微镜unneccesitating一种用于一针孔板的机械移动机构。 溶液 : 所述共焦显微镜2包括 : 一个成像部分包括一个物镜光学系统15用于聚光照明该样品的表面3上的光,和还,所述表面的投影该光学图像的所述样品3,和TDI传感器19用于接收从所述物镜光学系统15投影投射的光; 一移动装置10用于扫描所述光接收表面上形成光学图像的所述TDI传感器19所述扫描方向中的所述TDI的传感器19的相对移动所述成像部分到所述样品3; 和所述针孔板21上提供一个所述投影光路径,其中所述的光学路径通过所述物镜光学系统15到项目所述的光学图像和所述光学路径所述的照明光入射在所述物镜光学系统16相互重叠,该表面上冷凝的配置,以形成所述的照明光的所述样品3作为光点的光。该样品是通过所述的扫描针孔在根据与所述相对移动的所述成像部分,其扫描所述光接收表面上形成所述的光学图像的所述TDI传感器19所述光接收表面上。 版权 : (C)2008,inpit |