| 自对准扫描用于扫描探针显微镜探针 |
| EP06010813 2006-5-26 发明申请 |
| 2007-11-28 |
| 所述探头(1)具有一保持单元设置在一微弯曲的端杆(4)用于可拆卸紧固所述的探针，以支撑单元，其被固定在一探针保持装置。调整单元被形成在所述保持单元和所述支撑单元，分别。该调整单元调整所述保持单元，当与所述支持单元中的一种自动可重复的方式耦合。该微弯曲条表现出不同的长度(14)，其中一个距离(12)之间的一扫描点(6)和一个定义参考点(9)的所述保持单元保持恒定。一个独立的权利要求是还包括用于一种用于制造方法的一个扫描探针用于一种扫描探针显微镜。 |
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