| 用于检查差分干涉对比显微镜压痕具有自动调焦模块使用线传感器 |
| KR1020070043984 2007-5-7 发明授权 |
| 2007-11-26 |
| 目的 : 提供一个用于检查差分干涉对比显微镜压痕具有一种自动调焦模块使用线传感器是提供给延伸一个检查区域，以增加数据速率。结构 : 提供一用于检测压痕差分干涉对比显微镜与一个自动调焦模块使用线传感器包括一第一筒(101)，第二筒(102); 第第三筒(103)，第七筒(302)，提出一种筒(104)，第六筒(301); 一第八筒(303)，第五筒(105)，一种检查照相机，和一个自动调焦模块，第一筒具有一个物镜(140)和一个微分干涉棱镜内。第二筒上是位于该顶部第一的筒和具有第一光束分离器(130)内。第三筒体位于一上侧第二的筒内并具有一个起偏振镜和光源的外侧。第七筒上是位于所述顶部第二的筒和具有第二光束分离器(330)内。所提出的筒上是位于一顶部第七的筒和具有一个分析仪(160)内。第六筒体位于一上侧第七的筒，并具有一光源(310)用于控制聚焦和一图案(320)。第八筒第七的是位于该侧上筒和具有一线传感器(340)。第五筒位于所述顶部上来回筒和所述的具有一个浸没透镜(170)内。所述检查照相机被位于所述顶部第五的筒上。所述的自动调焦模块实时中所述检查透镜聚焦，kipo2008 |
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