要解决的问题 : 提供一种差动泵浦扫描电子显微镜能够容易地进行的维护和检查各种部件的一种电子-光系统和一个差动泵浦的孔容易制造的自旋完成一个管。

溶液 : 该差动泵浦扫描电子显微镜连接的电子枪室1提供与一个电子源产生电子束，和一个样本室2中设置一样品它与一个镜筒部分7，其被提供用于所述电子束与内管14到内部通，聚光透镜8，13至少作为所述电子束的聚焦装置从所述的电子枪室1，和一物镜透镜9聚焦在该样品中所述样品室2。所述内管14是一个整体长度从所述电子枪中形成的腔室1建立到所述样品室2，和在所述相同的时间，具有一物镜孔径单元16作为该差动泵浦孔安装在一尖端部分位于在侧的所述样品室2。一衬里管15被一冷凝器孔径单元被安装在所述内管14向所述电子枪室1。