要解决的问题 : 以保持高的SEM照片中的吞吐量-型缺陷检查装置，用于自动收集一有缺陷的图像现有的样品上，例如一半导体晶片或所述等。

溶液 : 所述缺陷检查方法使用SEM-型制备一种缺陷的检查装置包括一制备工艺检测成功率或通过至少一个缺陷检测成功地图单元中比较一个晶片单元或一个芯片单元; 一选择的选择过程的回顾其被选择的一个小区之间的序列比较系统和一个管芯的比较系统，基于所述缺陷检测的成功率或所述缺陷检测成功地图至少由所述所制备的晶片单元和芯片单元电池中的比较; 一电池具有一检测右比较过程和执行错误判断的过程检查缺陷检测右和错误判断通过所述电池比较，当该电池比较该选择过程中被选择的系统; 和一个模进行管芯时比较所述的比较过程检查缺陷是未检测到作为一个结果。一判断的，所述检测右和错误的判断过程中和当所述模具中被选择的比较所述选择过程。