| 所述透明基板使用的探针显微镜是，其制造方法和一种探针显微镜 |
| JP2005512970 2004-8-6 发明申请 |
| 2007-11-22 |
| 所述光学透明基板使用一种探头的所述表面形成一悬臂，此外，在尺寸小，和一窥窗口具有一透明基板的所述功能是使用以提高精度的所述探针显微镜，扫描探针显微镜及其制造方法。一种近红外的光到可见光或一个所述的表面上的透明材料所述透明板1201，1203的一个，同时保持一预定间隔从所述表面是支持通过多个悬臂的1202，12041由一薄的膜或一个具有一个探针被提供，所述透明板1201包括，所述容器的内部和外部而划分所述的光学观察或测量和具有该功能两个一窥视窗，该悬臂1202，所述透明板1204从所述的后表面1201，1203的光学观察或测量，还在光学上。 |
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