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一种配合光学显微镜使用的标记笔新设计

CN200610026634.X 2006-5-17 发明申请

2007-11-21

目前晶圆代工厂中对晶圆进行标记是人工操作的，而且是靠记忆来确定位置。因而会经常画错地方，甚至会将需要分析的结构弄脏，给后续的失效分析带来麻烦。针对这种情况，本发明提供了一种标记环的结构来节省标记时间并且避免标记错误。