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透射电子显微镜样品及其制造方法

US11241953 2005-10-4 发明授权

2007-11-20

本发明提供了一种透射电子显微镜(TEM)样品及其制造方法。所述样品包括分析点。所述样品是通过在所述初步样品的表面部分处形成凹坑，并且离子铣削具有所述凹坑的所述初步样品而形成的。